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泽鸿半导体设备科技(苏州)有限公司朱大军获国家专利权

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龙图腾网获悉泽鸿半导体设备科技(苏州)有限公司申请的专利一种真空镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223522657U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202522081093.1,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型一种真空镀膜设备是由朱大军;郭子强;李祥明设计研发完成,并于2025-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。

一种真空镀膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种真空镀膜设备,属于真空镀膜技术领域,包括镀膜机本体,所述镀膜机本体一侧安装有对镀膜机本体内部进行抽真空的抽真空机构,所述镀膜机本体内安装有对基材进行快速夹持和旋转的连续旋转夹具,所述镀膜机本体内安装有对连续旋转夹具进行预热的预热机构,所述连续旋转夹具包括:第一驱动机构、行星架机构和快速翻转机构,所述第一驱动机构安装在镀膜机本体上侧,所述行星架机构安装在第一驱动机构的输出端。通过上述方式,本实用新型可在不重新拆装基材的情况下实现双面镀膜,可以快速将基材边缘全方位固定在翻转板上,可在自转和公转时进行预设角度的翻转,有利于异形基材的均匀镀膜。

本实用新型一种真空镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种真空镀膜设备,包括镀膜机本体1,其特征在于,所述镀膜机本体1一侧安装有对镀膜机本体1内部进行抽真空的抽真空机构2,所述镀膜机本体1内安装有对基材321进行快速夹持和旋转的连续旋转夹具3,所述镀膜机本体1内安装有对连续旋转夹具3进行预热的预热机构4; 所述连续旋转夹具3包括:第一驱动机构、行星架机构和快速翻转机构,所述第一驱动机构安装在镀膜机本体1上侧,所述行星架机构安装在第一驱动机构的输出端,多个所述快速翻转机构安装在行星架机构上; 所述行星架机构包括:下固定架33、延伸板34、支撑筒35、导轮36和旋转框37,所述下固定架33固定安装在镀膜机本体1外壳内,所述下固定架33上开设有环形开槽38,多个所述延伸板34固定安装在第一驱动机构的输出端,所述支撑筒35转动连接在延伸板34靠近下固定架33的一端,所述导轮36固定安装在支撑筒35远离下固定架33圆心的一端,所述导轮36位于环形开槽38内,所述旋转框37固定安装在支撑筒35靠近下固定架33圆心的一端; 所述快速翻转机构包括:翻转组件和快速夹持组件,多个所述翻转组件以旋转框37圆心为圆心圆周阵列分布在旋转框37上,所述翻转组件安装在旋转框37上,所述快速夹持组件安装在翻转组件上。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人泽鸿半导体设备科技(苏州)有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市吴中区木渎镇珠江南路888号科技创业园3号楼3120室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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