无锡先为科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡先为科技有限公司申请的专利一种成膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223522666U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422938210.7，技术领域涉及：C23C16/46；该实用新型一种成膜装置是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种成膜装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种成膜装置，属于成膜设备技术领域。成膜装置包括：壳体、受热件、感应线圈及保温件；壳体具有容纳腔；受热件呈板状并设置于容纳腔内，受热件包括承载面，用于承载衬底；感应线圈设置于壳体的外侧；保温件设置于容纳腔内，且位于受热件与壳体之间，保温件由多个层状保温材料堆叠而成，层状保温材料包括碳纤维布，保温件包括第一保温板，第一保温板至少位于受热件背离承载面的一侧，第一保温板包括多个保温块，相邻两个保温块相互拼接并组成与受热件形状匹配的板状。通过分体设置第一保温板，且相邻保温块之间间隙配合，进而减小感应线圈穿过保温层时产生的涡电流，降低感应线圈的功率损耗，保障受热件的加热效率。
本实用新型一种成膜装置在权利要求书中公布了：1.一种成膜装置，其特征在于，包括： 壳体1，具有容纳腔10； 受热件2，呈板状并设置于所述容纳腔10内，所述受热件2包括承载面210，用于承载衬底； 感应线圈3，设置于所述壳体1的外侧； 保温件4，设置于所述容纳腔10内，且位于所述受热件2与所述壳体1之间，所述保温件4由多个层状保温材料堆叠而成，所述层状保温材料包括碳纤维布，所述保温件4包括第一保温板41，所述第一保温板41至少位于所述受热件2背离所述承载面210的一侧，所述第一保温板41包括多个保温块411，相邻两个所述保温块411相互拼接并组成与所述受热件2形状匹配的板状，且相邻所述保温块411之间相互间隔。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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