天津中环光伏科技有限公司王跃飞获国家专利权
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龙图腾网获悉天津中环光伏科技有限公司申请的专利一种PECVD工序主机台电极杆自动调整装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223522669U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423100641.2，技术领域涉及：C23C16/52；该实用新型一种PECVD工序主机台电极杆自动调整装置是由王跃飞;郑云龙;彭彪;王东;祁克香;刘明华设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PECVD工序主机台电极杆自动调整装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种PECVD工序主机台电极杆自动调整装置，属于太阳能光伏电池制造领域，包括电极杆底座，电极杆底座上转动连接有轴杆，轴杆与电极杆连接，以使轴杆带动电极杆运动，轴杆的一端连接有微型伺服电机，微型伺服电机驱动轴杆转动，微型伺服电机上连接有驱动器，驱动器上连接有主机PLC，主机PLC对驱动器发送电信号，使驱动器控制微型伺服电机的转动。本实用新型通过驱动器接受主机PLC电信号，将电信号反馈给微型伺服电机，微型伺服电机驱动轴杆准确转动，轴杆带动电极杆运动，实现电极杆角度的自动控制，保证电极杆的位置在对接时的精确度，减少造成的宕机、高频等问题的发生，提高机台运行的稳定性。
本实用新型一种PECVD工序主机台电极杆自动调整装置在权利要求书中公布了：1.一种PECVD工序主机台电极杆自动调整装置，其特征在于，包括电极杆底座，电极杆底座上转动连接有轴杆，轴杆与电极杆连接，以使轴杆带动电极杆运动，轴杆的一端连接有微型伺服电机，微型伺服电机驱动轴杆转动，微型伺服电机上连接有驱动器，驱动器上连接有主机PLC，主机PLC对驱动器发送电信号，使驱动器控制微型伺服电机的转动。
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