北京京仪自动化装备技术股份有限公司李阳获国家专利权
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龙图腾网获悉北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请的专利一种用于半导体刻蚀金属铝工艺去除粉末的处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223522676U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422478890.9，技术领域涉及：C23F1/08；该实用新型一种用于半导体刻蚀金属铝工艺去除粉末的处理装置是由李阳;丁树园设计研发完成，并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体刻蚀金属铝工艺去除粉末的处理装置在说明书摘要公布了：一种用于半导体刻蚀金属铝工艺去除粉末的处理装置，包括进气管、氮气吹扫装置和粉尘去除装置；进气管内部输入有制程废气，氮气吹扫装置包括氮气供给装置和加热装置，氮气供给装置与进气管连接，加热装置设置在氮气供给装置上，加热后的氮气输入进气管内；粉尘去除装置包括驱动装置和刮刀，驱动装置与刮刀连接用于驱动刮刀运动，刮刀设置在进气管内。本申请氮气吹扫装置氮气吹扫装置对输出的氮气加热，制程废气侧向输入进气管时，上方的热氮气对制程废气进行吹扫，在高温的作用下，氯化铝粉末会尽可能呈气态进入燃烧腔处理。粉末去除装置的驱动装置带动刮刀运动，对凝固的氯化铝粉末进行刮除，有效避免了氯化铝粉末凝固且积聚在进气管的内侧壁上。
本实用新型一种用于半导体刻蚀金属铝工艺去除粉末的处理装置在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体刻蚀金属铝工艺去除粉末的处理装置，其特征在于，包括进气管、氮气吹扫装置和粉尘去除装置；所述进气管内部输入有制程废气，所述氮气吹扫装置包括氮气供给装置和加热装置，所述氮气供给装置与所述进气管连接用于向所述进气管内部输入氮气，所述加热装置设置在所述氮气供给装置上用于加热所述氮气，且加热后的所述氮气输入所述进气管内且用于吹扫输入所述进气管内的所述制程废气的粉尘；所述粉尘去除装置包括驱动装置和刮刀，所述驱动装置与所述刮刀连接用于驱动所述刮刀运动，所述刮刀设置在所述进气管内且用于刮除沉积在所述进气管侧壁的所述粉尘。
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