深圳市信越半导体科技有限公司刘文彤获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市信越半导体科技有限公司申请的专利超声波蚀刻加速均化反应器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223522677U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423063145.4，技术领域涉及：C23F1/08；该实用新型超声波蚀刻加速均化反应器是由刘文彤设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本超声波蚀刻加速均化反应器在说明书摘要公布了：本实用新型涉及超声波蚀刻技术领域，具体涉及超声波蚀刻加速均化反应器，包括蚀刻箱，所述蚀刻箱外壁的一侧安装有托板，所述托板的顶部一端安装有超声波发生器，所述蚀刻箱内壁的相对的其中两处均搭接有侧面超声波振动板，所述蚀刻箱内壁位于两组侧面超声波振动板之间搭接有正面超声波振动板，所述正面超声波振动板的一侧安装有底面超声波振动板；本实用新型结构简单、操作方便，保证了在蚀刻槽内各处药水浓度、温度、冲击力均匀，工件表面产生的溶于水或不溶于水的反应物及时被溶解或者及时被药水高频高幅振动冲击带走不会粘附于工件表面，保证了工件表面蚀刻反应的一致性、均匀性、高效性，让蚀刻表面平整、光滑，且部件拆装快捷维护方便。
本实用新型超声波蚀刻加速均化反应器在权利要求书中公布了：1.超声波蚀刻加速均化反应器，包括蚀刻箱1，其特征在于：所述蚀刻箱1外壁的一侧安装有托板2，所述托板2的顶部一端安装有超声波发生器3，所述蚀刻箱1内壁的相对的其中两处均搭接有侧面超声波振动板4，所述蚀刻箱1内壁位于两组侧面超声波振动板4之间搭接有正面超声波振动板5，所述正面超声波振动板5的一侧安装有底面超声波振动板6，所述正面超声波振动板5、底面超声波振动板6和两组侧面超声波振动板4均通过安装机构与蚀刻箱1卡接，所述安装机构包括弹压组件和扭转组件，所述弹压组件用于锁定正面超声波振动板5、底面超声波振动板6和两组侧面超声波振动板4的位置，所述扭转组件用于解开对正面超声波振动板5、底面超声波振动板6和两组侧面超声波振动板4的锁定。
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