中微半导体设备(上海)股份有限公司姜学斌获国家专利权
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龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种用于半导体处理设备的气体输送装置和气体通路模块获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223524974U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423230256.X，技术领域涉及：F17D1/04；该实用新型一种用于半导体处理设备的气体输送装置和气体通路模块是由姜学斌;彭建录;梁冬冬;周楚秦;张嘉赫设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体处理设备的气体输送装置和气体通路模块在说明书摘要公布了：一种用于半导体处理设备的气体输送装置和气体通路模块，在半导体处理设备的气体输送装置的气体通路模块的模块主体中设置清洁气体进气管路、第一反应气体进气管路、第二反应气体进气管路、共用管路和主出气管路，采用最少数量的管路并配合第一控制阀和第二控制阀来控制各个管路的进气口和排气口之间的通断，实现交替通入反应气体和清洁气体。通过在模块主体中设置第一反应气体排气管路和第二反应气体排气管路，确保第一反应气体进气管路中一直流通第一反应气体，第二反应气体进气管路中一直流通第二反应气体，缩短了切换时间，实现了不同气体的快速切换。通过在排气管路上设置排气阀来减少每次切换气体时管路内压力发生骤变，确保气体平稳切换。
本实用新型一种用于半导体处理设备的气体输送装置和气体通路模块在权利要求书中公布了：1.一种气体通路模块，其特征在于，包含：模块主体； 所述模块主体中设置有清洁气体进气管路、第一反应气体进气管路和第二反应气体进气管路，以及共用管路和主出气管路； 所述清洁气体进气管路、所述共用管路和所述主出气管路形成清洁气体的流通路径； 所述第一反应气体进气管路、所述共用管路和所述主出气管路形成第一反应气体的流通路径； 所述第二反应气体进气管路和所述主出气管路形成第二反应气体的流通路径。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中微半导体设备(上海)股份有限公司，其通讯地址为：201201 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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