苏州昊岳科技有限公司王云凤获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州昊岳科技有限公司申请的专利均匀加热式硅片烘干炉结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223525505U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422103465.1,技术领域涉及:F26B15/12;该实用新型均匀加热式硅片烘干炉结构是由王云凤设计研发完成,并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本均匀加热式硅片烘干炉结构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及硅片加工设备技术领域,尤其涉及一种均匀加热式硅片烘干炉结构。其包括设备支架设置在所述设备支架上的烘干炉隧道、置于所述烘干炉隧道内且设置在所述设备支架上的输送机构、设置在所述烘干炉隧道上的若干组热风单元,所述烘干炉隧道包括设置在所述设备支架上且拼接而成的若干隧道壳体、置于所述隧道壳体内部的出气板、以及设置在所述隧道壳体外侧配合热风单元安装的外壳安装板,每组隧道壳体的两侧均设置有热风单元,且所述两侧的热风单元左右交错设置。本实用新型的有益之处:本技术方案通过设置相互之间交错设置的热风单元,从而提高烘干炉隧道内的热风烘干效率,从而保证硅片的烘干效率,以此提高了转换效率,减少不良率。
本实用新型均匀加热式硅片烘干炉结构在权利要求书中公布了:1.一种均匀加热式硅片烘干炉结构,其包括设备支架设置在所述设备支架上的烘干炉隧道、置于所述烘干炉隧道内且设置在所述设备支架上的输送机构、设置在所述烘干炉隧道上且用于对隧道内部进行烘干的若干组热风单元,其特征在于:所述烘干炉隧道包括设置在所述设备支架上且拼接而成的若干隧道壳体、置于所述隧道壳体内部的出气板、以及设置在所述隧道壳体外侧配合热风单元安装的外壳安装板,每组隧道壳体的两侧均设置有热风单元,且所述两侧的热风单元左右交错设置,所述热风单元包括分别设置在所述一侧外壳安装板上且均匀分布在所述外壳安装板四周中间位置的若干组进风端、与所述进风端相互接通的进风管、设置在所述进风管中部的加热装置、连接于所述进风管末端的风机、以及置于另一侧外壳安装板上的出风口。
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