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龙图腾网获悉蒋熙鹏申请的专利一种光刻机移载机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223526626U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423090314.3，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种光刻机移载机构是由蒋熙鹏设计研发完成，并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光刻机移载机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种光刻机移载机构，包括滑轨座、线性运动组件和末端执行器。所述滑轨座的表面滑动安装有多轴滑台，多轴滑台的底面固定安装有若干轴耳，所述线性运动组件的两端分别与末端执行器和轴耳的表面活动连接，且线性运动组件和轴耳呈圆周方向分布于末端执行器的外周。所述线性运动组件包括驱动座、电机、丝杆轴和线性滑杆，驱动座的两侧设有与轴耳端部连接的连动杆。本实用新型通过线性运动组件的线性运动组件和滑动导向结构，实现了对末端执行器的多自由度精准控制，结合真空吸附结构有效避免晶圆掉落或移位问题。系统通过位置传感器和角度传感器实时监测位移和姿态信息，并将数据反馈至控制系统，确保移载动作的精准性和稳定性。

本实用新型一种光刻机移载机构在权利要求书中公布了：1.一种光刻机移载机构，其特征在于，包括：滑轨座100、线性运动组件200和末端执行器300，所述滑轨座100的表面滑动安装有多轴滑台110，所述多轴滑台110的底面固定安装有若干轴耳111，所述线性运动组件200的两端与末端执行器300和轴耳111的表面活动连接，且线性运动组件200和轴耳111呈圆周方向分布于末端执行器300的外周，所述线性运动组件200包括驱动座210、电机220、丝杆轴230和线性滑杆240，所述驱动座210的两侧设有与轴耳111端部连接的连动杆211，所述线性滑杆240的表面设有滑动套接于连动杆211内侧的滑杆241，所述驱动座210的内侧转动安装有丝杆轴230，所述电机220固定于驱动座210表面用于驱动丝杆轴230转动，所述线性滑杆240螺纹套接于丝杆轴230表面，所述滑杆241的另一端与末端执行器300的表面活动连接，所述末端执行器300包括定轴座310、动轴台320和吸盘330，且定轴座310和动轴台320的内侧分别设有用于驱动动轴台320和吸盘330转动的舵机。

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