舜意科技(山东)有限公司李威振获国家专利权
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龙图腾网获悉舜意科技(山东)有限公司申请的专利NA调节装置和光刻机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223526627U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423183853.1，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型NA调节装置和光刻机是由李威振;孙朝一设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本NA调节装置和光刻机在说明书摘要公布了：本实用新型的实施例提供了一种NA调节装置和光刻机，通过直线位移机构可以带动旋转机构上的NA板进行直线位移，其中由于NA板上的不同大小的多个通孔是绕着NA板的转动轴线呈圆周排布，因此结合直线运动可以保证NA板在旋转机构的驱动下转动时不同大小的通孔可以到达指定位置对准透镜以对光束进行聚焦，这样通过自动化的方式实现NA调节，操作方便且误差小，保证运动精度和效率。
本实用新型NA调节装置和光刻机在权利要求书中公布了：1.一种NA调节装置，其特征在于，包括： 直线位移机构100； 设置于所述直线位移机构100的旋转机构200，所述旋转机构200能够在所述直线位移机构100的驱动下沿预设方向进行直线位移； 设置于所述旋转机构200的NA板300，所述NA板300能够在所述旋转机构200的驱动下转动，且所述NA板300的转动轴线所述预设方向垂直； 其中，所述NA板300具有多个通孔310，绕着所述NA板300转动轴线呈圆周排布的多个通孔310的孔径不同。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人舜意科技(山东)有限公司，其通讯地址为：271001 山东省济南市高新区舜华路街道经十路7000号汉峪金谷金融商务中心A4-(4)办公楼34层3407-4室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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