上海芯东来半导体科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉上海芯东来半导体科技有限公司申请的专利一种掩模预对准装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223526628U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423222967.2，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种掩模预对准装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掩模预对准装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种掩模预对准装置，包括支撑架和支撑板，支撑架设置有驱动组件，以及与驱动组件传动连接的第一限位组件和第二限位组件，驱动组件交替或同时驱动第一限位组件和第二限位组件，以使第一限位组件的限位板一和所述限位板二在第一方向上相对或向背运动，第二限位组件的限位板三和所述限位板四在第二方向上相对或向背运动；从而对支撑板上的掩模板进行位置校准；本申请的掩模预对准装置在实现对掩模板精准的预对准操作的同时，采用同一驱动组件驱动第一限位组件和第二限位组件，极大程度简化了驱动组件的结构，降低了掩模预对准装置制造难度和制造成本。
本实用新型一种掩模预对准装置在权利要求书中公布了：1.一种掩模预对准装置，其特征在于，包括： 支撑架和支撑板； 所述支撑板固定设置于所述支撑架，并具有用于支撑掩模的支撑面； 所述支撑架设置有驱动组件，以及与所述驱动组件传动连接的第一限位组件和第二限位组件； 所述第一限位组件包括沿所述支撑面的第一方向相对设置的限位板一和限位板二，所述第二限位组件包括沿所述支撑面的第二方向相对设置的限位板三和限位板四，且所述第一方向和所述第二方向相交； 所述限位板一、限位板二、限位板三和限位板四相对于所述支撑架活动设置； 所述驱动组件交替或同时驱动所述第一限位组件和所述第二限位组件，以使所述限位板一和所述限位板二在第一方向上相对或向背运动，所述限位板三和所述限位板四在第二方向上相对或向背运动； 所述第一方向和第二方向相互垂直，且所述限位板一、限位板二、限位板三和限位板四均设置有进行限位的限位滚轮。
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