福州展旭电子有限公司吴槐获国家专利权
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龙图腾网获悉福州展旭电子有限公司申请的专利显影机清洗设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223526629U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423142144.9,技术领域涉及:G03F7/30;该实用新型显影机清洗设备是由吴槐设计研发完成,并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本显影机清洗设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种显影机清洗设备,包括机台壳体以及设置于机台壳体上的反应皿,所述反应皿内设置有可升降的硅片玻璃片吸附旋转组件。本实用新型设计合理,使用方便,通过升降机构带动硅片玻璃片吸附旋转组件下降,使硅片或玻璃片与反应皿内的定量显影液接触浸泡,通过升降机构带动硅片玻璃片吸附旋转组件上升,使硅片或玻璃片移出显影液,保证硅片显影均匀,显影时间和效果可控,有效提高显影工作效率和质量。
本实用新型显影机清洗设备在权利要求书中公布了:1.一种显影机清洗设备,其特征在于,包括机台壳体以及设置于机台壳体上的反应皿,所述反应皿内设置有可升降的硅片玻璃片吸附旋转组件,当硅片玻璃片吸附旋转组件下降时硅片或玻璃片与反应皿内的定量显影液接触浸泡,当硅片玻璃片吸附旋转组件上升时硅片或玻璃片移出显影液。
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