重庆芯联微电子有限公司林纪光获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利离子源电弧室、离子源及离子注入设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223527118U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422577667.X，技术领域涉及：H01J37/08；该实用新型离子源电弧室、离子源及离子注入设备是由林纪光设计研发完成，并于2024-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本离子源电弧室、离子源及离子注入设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供了一种离子源电弧室、离子源及离子注入设备，离子源电弧室包括：电弧室主体；所述电弧室主体具有一内腔；所述电弧室主体包括第一外侧板和第一内侧板组件；所述第一外侧板上开设有第一安装孔；所述第一内侧板组件由非金属材质制成，所述第一内侧板组件包括第一内侧板，所述第一内侧板贴合于所述第一外侧板的内侧，且所述第一内侧板上设置有与所述第一安装孔正对的第二安装孔。如此配置，第一内侧板贴合于第一外侧板的内侧，因此，减少在阴极周围的化合物的生成，进而减少在阴极上的沉积物，以改善短路以及离子束不均的现象。
本实用新型离子源电弧室、离子源及离子注入设备在权利要求书中公布了：1.一种离子源电弧室，其特征在于，包括：电弧室主体； 所述电弧室主体具有一内腔； 所述电弧室主体包括第一外侧板和第一内侧板组件； 所述第一外侧板上开设有第一安装孔，所述第一安装孔为阴极安装孔或反射极安装孔； 所述第一内侧板组件由非金属材质制成，所述第一内侧板组件包括第一内侧板，所述第一内侧板贴合于所述第一外侧板的靠近所述内腔的一侧，且所述第一内侧板上设置有与所述第一安装孔正对的第二安装孔。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人重庆芯联微电子有限公司，其通讯地址为：401332 重庆市沙坪坝区高新区西永街道西永大道28-2号SOHO楼601-A153；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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