江苏天芯微半导体设备有限公司李进获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏天芯微半导体设备有限公司申请的专利一种边缘加热底座及刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223527121U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422945373.8，技术领域涉及：H01J37/20；该实用新型一种边缘加热底座及刻蚀设备是由李进;葛绍理设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种边缘加热底座及刻蚀设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供边缘加热底座，用于刻蚀设备介质窗的控温，包括：环体包括上表面、下表面、外侧壁和内侧壁，所述环体的外侧壁设置沿着环体的周向延申的横槽；边缘加热件设置于所述横槽的里侧；压紧件设置于横槽的外侧，压紧件被配置为能够沿着径向向边缘加热件提供压力。本实用新型通过加热组件和边缘加热件实现边缘和中心加热，确保了控温的均一性，另外边缘加热底座能够实现很好的热传导。
本实用新型一种边缘加热底座及刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种边缘加热底座，用于刻蚀设备介质窗的控温，其特征在于，包括： 环体，所述环体包括上表面、下表面、外侧壁和内侧壁，所述环体的外侧壁设置沿着环体的周向延申的横槽； 边缘加热件，所述边缘加热件设置于所述横槽的里侧； 压紧件，所述压紧件设置于所述横槽的外侧，所述压紧件被配置为能够沿着径向向边缘加热件提供压力。
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