合肥博雷电气有限公司刘凯获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥博雷电气有限公司申请的专利一种等离子体反应腔、微波等离子体发生装置及系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223527123U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422766557.8，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种等离子体反应腔、微波等离子体发生装置及系统是由刘凯;王少波;赵士国;段浩波;胡永康;王健;朱洪硕;朱浩;赵玉莲设计研发完成，并于2024-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子体反应腔、微波等离子体发生装置及系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及微波检测技术领域，具体是一种等离子体反应腔、微波等离子体发生装置及系统。等离子体反应腔包括内部形成有长方体状腔室的腔体，腔体的腔壁上开设有至少一个用于连接至微波源的微波入口，腔体的腔壁上还开设有多个观察窗。观察窗用于连接检测腔室内部等离子体光强的光强检测装置；腔体的腔壁上以该腔壁的中心点为圆心并由内向外依次形成多个环形区域，各个环形区域内的观察窗在该环形区域内绕所述中心点呈中心对称分布。本实用新型的等离子体反应腔针对等离子体的特性在腔体上设计观察窗的位置，便于后续更科学地评估腔室内微波等离子体的均匀性。
本实用新型一种等离子体反应腔、微波等离子体发生装置及系统在权利要求书中公布了：1.一种等离子体反应腔，其特征在于，包括内部形成有长方体状的等离子腔室11的腔体1，腔体1的腔壁上开设有至少一个用于连接至微波源2的微波入口13，腔体1的腔壁上还开设有多个观察窗12，所述观察窗12用于连接检测所述腔室内部等离子体光强的光强检测装置3；腔体1的腔壁上以该腔壁的中心点为圆心并由内向外依次形成多个环形区域，各个环形区域内的观察窗12在该环形区域内绕所述中心点呈中心对称分布。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥博雷电气有限公司，其通讯地址为：231299 安徽省合肥市高新区香樟大道168号科技实业园C-5二层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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