江苏鲁汶仪器股份有限公司郭颂获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利一种温差平衡结构及等离子刻蚀机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223527124U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422956858.7，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种温差平衡结构及等离子刻蚀机是由郭颂;陈冬冬;王海东;王勉;卢浩;叶联;胡冬冬;许开东设计研发完成，并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种温差平衡结构及等离子刻蚀机在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种温差平衡结构及等离子刻蚀机，本方案包括介质耦合窗和线圈，线圈自介质耦合窗的中心向边缘进行盘绕；线圈为空心管结构，线圈包括第一口和第二口，第一口和第二口用于连接冷却介质，以在线圈内循环；线圈的底部设置有导热板，导热板的上表面与线圈的底部相贴合，导热板的下表面为平面。本实用新型的温差平衡结构线圈为空心管结构，可通过线圈的第一口和第二口向线圈内通入冷却介质，以在线圈内循环，能够对介质耦合窗进行有效散热，从而改善介质耦合窗的冷却效果。
本实用新型一种温差平衡结构及等离子刻蚀机在权利要求书中公布了：1.一种温差平衡结构，其特征在于，包括介质耦合窗和线圈，所述线圈自所述介质耦合窗的中心向边缘进行盘绕；所述线圈为空心管结构，所述线圈包括第一口和第二口，所述第一口和所述第二口用于连接冷却介质，以在所述线圈内循环； 所述线圈的底部设置有导热板，所述导热板的上表面与所述线圈的底部相贴合，所述导热板的下表面为平面。
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