重庆芯联微电子有限公司陈彦铨获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利光照侦测模块以及半导体制造设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223527129U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422663599.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型光照侦测模块以及半导体制造设备是由陈彦铨;陈颖儒设计研发完成，并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本光照侦测模块以及半导体制造设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种光照侦测模块以及半导体制造设备，光照侦测模块包括：侦测单元以及逻辑判断单元；侦测单元靠近用于承载晶圆的工艺盘设置，用于侦测机台内部的光照度；逻辑判断单元与侦测单元通信连接；逻辑判断单元被配置为：比较侦测单元测得的实时光照度与预设光照度的大小，在实时光照度大于预设光照度时，生成暂停生产信号，并传输至机台的控制端，以暂停当前的生产工艺。如此配置，通过在靠近工艺盘的位置增设侦测单元，用以获取机台内部的光照度，并在实时光照度大于预设光照度时发出暂停加工信号，以停止机台的加工，降低了加工中的晶圆由于光照提供的能量发生PACC现象的概率，从而提升了产品良率。
本实用新型光照侦测模块以及半导体制造设备在权利要求书中公布了：1.一种光照侦测模块，其特征在于，包括：侦测单元以及逻辑判断单元； 所述侦测单元靠近用于承载晶圆的工艺盘设置，用于侦测机台内部的光照度； 所述逻辑判断单元与所述侦测单元通信连接；所述逻辑判断单元被配置为：比较所述侦测单元测得的实时光照度与预设光照度的大小，在所述实时光照度大于所述预设光照度时，生成暂停生产信号，并传输至所述机台的控制端，以暂停当前的生产工艺。
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