上海广川科技有限公司;北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司曲泉铀获国家专利权
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龙图腾网获悉上海广川科技有限公司;北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种颗粒物抑制器及倒装型机器人获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223527136U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422967445.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种颗粒物抑制器及倒装型机器人是由曲泉铀;武一鸣;刘东章设计研发完成，并于2024-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种颗粒物抑制器及倒装型机器人在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种颗粒物抑制器及倒装型机器人，其中该颗粒物抑制器，适于与倒装式晶圆传输机构的固定座配装，其包括：负压生成装置、吸尘件，其中所述吸尘件包括：基座、密封板，所述基座呈环形，其环体上设有吸尘槽，所述基座内环面上设有若干与吸尘槽连通的吸尘口、外环面上设有连接座，及与吸尘槽连通的气管接口，所述密封板封盖在吸尘槽上，以定义出与吸尘口及气管接口连通的吸尘腔，所述负压生成装置经吸气管与气管接口配接，以连通吸尘腔，使其腔内形成负压，以经吸尘口在基座内环口处形成负压区。籍此以解决倒装式晶圆传输机构的颗粒物抑制问题。
本实用新型一种颗粒物抑制器及倒装型机器人在权利要求书中公布了：1.一种颗粒物抑制器，其特征在于包括：负压生成装置、吸尘件，其中所述吸尘件包括：基座、密封板，所述基座呈环形，其环体上设有吸尘槽，所述基座内环面上设有若干与吸尘槽连通的吸尘口、外环面上设有连接座，及与吸尘槽连通的气管接口，所述密封板封盖在吸尘槽上，以定义出与吸尘口及气管接口连通的吸尘腔，所述负压生成装置经吸气管与气管接口配接，以连通吸尘腔，使其腔内形成负压，以经吸尘口在基座内环口处形成负压区。
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