沈阳晶睿自动化科技有限公司张思佳获国家专利权
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龙图腾网获悉沈阳晶睿自动化科技有限公司申请的专利一种真空环境下保证中心定位精度的柔性对中装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223527159U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422932246.4，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种真空环境下保证中心定位精度的柔性对中装置是由张思佳设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空环境下保证中心定位精度的柔性对中装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及对中装置技术领域，且公开了一种真空环境下保证中心定位精度的柔性对中装置，包括安装底板，所述安装底板的顶部安装有位置调节板，所述安装底板的顶部安装有弹簧限位座，所述安装底板上安装有微型滑轨，所述微型滑轨上安装有对中块，所述弹簧限位座的一端安装有弹簧机构。该真空环境下保证中心定位精度的柔性对中装置，当安装底板中心存在晶圆时，对中块边缘与晶圆接触，对中块受力，则弹簧机构被压缩，提供给对中块反作用力，对中块实现二力平衡，晶圆处于对中机构中心，实现晶圆的队中，对中动作执行后定位精度高、重复定位好，柔性夹持，实现对中，晶圆不容易破损，柔不需要靠安装的调节实现对中，易于调整，安装难度低。
本实用新型一种真空环境下保证中心定位精度的柔性对中装置在权利要求书中公布了：1.一种真空环境下保证中心定位精度的柔性对中装置，包括安装底板4，其特征在于：所述安装底板4的顶部安装有位置调节板6，所述安装底板4的顶部安装有弹簧限位座3，所述安装底板4上安装有微型滑轨2，所述微型滑轨2上安装有对中块1，所述弹簧限位座3的一端安装有弹簧机构5。
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