东腾创新(深圳)科技有限公司张亚琼获国家专利权
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龙图腾网获悉东腾创新(深圳)科技有限公司申请的专利一种用于半导体加工的组合式真空吸盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223527160U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422526798.5，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种用于半导体加工的组合式真空吸盘是由张亚琼设计研发完成，并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体加工的组合式真空吸盘在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体加工技术领域，公开了一种用于半导体加工的组合式真空吸盘，包括进气外壳和定位孔，所述进气外壳的正面插接有进气管，所述进气管的表面滑动连接有限位卡板，所述限位卡板的内部螺纹连接有固定螺杆。本实用新型通过转动连接螺杆从连接卡板和定位卡板的内部进行取下时，可以对真空吸盘和连接卡板从承载环和安装管的顶部取下，通过转动锁紧螺杆从安装底环和定位卡板的内部取出时，可以对承载环和定位卡板从安装管的表面和安装底环的内部进行滑动取出，便于工作人员对真空吸盘进行零部件的拆卸和安装为工作人员的使用带来了操作便捷性，提高了设备内部易损零部件长时间使用后产生的损坏进行维修、保养和更换。
本实用新型一种用于半导体加工的组合式真空吸盘在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体加工的组合式真空吸盘，其特征在于，包括进气外壳1和定位孔13，所述进气外壳1的正面插接有进气管2，所述进气管2的表面滑动连接有限位卡板3，所述限位卡板3的内部螺纹连接有固定螺杆4，所述限位卡板3的内部滑动连接有排气管5； 所述进气外壳1的顶部固定连接有安装底环6，所述安装底环6的内部螺纹连接有锁紧螺杆7，所述安装底环6的内部插接有安装管8，所述安装底环6的内部插接有定位卡板9，所述定位卡板9的顶部固定连接有承载环14，所述承载环14的顶部插接有真空吸盘10，所述真空吸盘10的底部固定连接有连接卡板11，所述连接卡板11的内部螺纹连接有连接螺杆12。
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