安徽华矽半导体科技有限公司;宣城先进光伏技术有限公司王家奇获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽华矽半导体科技有限公司;宣城先进光伏技术有限公司申请的专利一种静电吸盘铜电极薄膜贴合装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223527161U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422646692.9,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型一种静电吸盘铜电极薄膜贴合装置是由王家奇;孙晓东;顾勇;屈长明;蔡爱玲;陈占开;郭铁;解晨晨;周飞设计研发完成,并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种静电吸盘铜电极薄膜贴合装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体器件技术领域,具体涉及一种静电吸盘铜电极薄膜贴合装置,包括底板,其顶部均匀分布固设有四个第一销钉,弹性支撑件,装设在所述底板上,所述弹性支撑件的顶部装设有四个与所有第一销钉一一对应的预留板,每两个所述预留板分别与所述底板的一侧,且每个所述预留板均通过折弯分别套设在一个所述第一销钉上,底座,可拆卸连接设置在所述底板的中部,压紧工具,设置在所述底座的上方,所述压紧工具上设有与所述第一销钉适配的定位孔,且所述压紧工具上滑动连接装设有压辊,压紧工具配合预留板压紧铜电极薄膜,通过压紧工具下压,使铜电极薄膜和底座重合,通过压辊在压紧工具上来回滚动,以完成铜电极薄膜和底座的贴合工作。
本实用新型一种静电吸盘铜电极薄膜贴合装置在权利要求书中公布了:1.一种静电吸盘铜电极薄膜贴合装置,其特征在于,包括: 底板1,其顶部均匀分布固设有四个第一销钉2; 弹性支撑件,装设在所述底板1上,所述弹性支撑件的顶部装设有四个与所有第一销钉2一一对应的预留板,每两个所述预留板分别与所述底板1的一侧,且每个所述预留板均通过折弯分别套设在一个所述第一销钉2上; 底座3,可拆卸连接设置在所述底板1的中部; 压紧工具,设置在所述底座3的上方,所述压紧工具上设有与所述第一销钉2适配的定位孔,且所述压紧工具上滑动连接装设有压辊4; 其中,压紧工具配合预留板压紧铜电极薄膜,通过压紧工具下压,使铜电极薄膜和底座3重合,通过压辊4在压紧工具上来回滚动,以完成铜电极薄膜和底座3的贴合工作。
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