广东大族半导体装备科技有限公司黄伟耿获国家专利权
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龙图腾网获悉广东大族半导体装备科技有限公司申请的专利吸附载台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223527162U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422674289.7，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型吸附载台是由黄伟耿;李东宇;曾威;尹建刚设计研发完成，并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本吸附载台在说明书摘要公布了：本申请提供了一种吸附载台，包括承载座；吸附组件，设置于承载座上；托盘，托盘上设有用于放置工件的承载位，托盘与承载位对应的位置开设有穿孔；以及升降支撑装置，沿第一方向活动升降地设置于承载座上，升降支撑装置升起以支撑托盘，升降支撑装置下降以带动托盘下降，以使托盘抵于承载座上，且吸附组件的吸附端穿过穿孔并吸附工件。本申请提供的吸附载台，当工件的尺寸规格不一致时，只需要更换不同尺寸规格的托盘即可，从而使得吸附载台可适用于不同尺寸规格的工件，提高吸附载台的通用性，且有利于降低设备成本。另外，通过吸附组件的吸附端穿过穿孔并直接吸附在工件上，其吸附更加牢固可靠。
本实用新型吸附载台在权利要求书中公布了：1.一种吸附载台，其特征在于，包括： 承载座； 吸附组件，设置于所述承载座上； 托盘，所述托盘上设有用于放置工件的承载位，所述托盘与所述承载位对应的位置开设有穿孔；以及， 升降支撑装置，沿第一方向活动升降地设置于所述承载座上，所述升降支撑装置升起以支撑所述托盘，所述升降支撑装置下降以带动所述托盘下降，以使所述托盘抵于所述承载座上，且所述吸附组件的吸附端穿过所述穿孔并吸附所述工件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广东大族半导体装备科技有限公司，其通讯地址为：511466 广东省广州市南沙区南江三路8、10号(自编三、四、五栋)301房号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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