拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司韩影获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请的专利一种加热器及半导体器件的加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223528225U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422271348.6，技术领域涉及：H05B3/02；该实用新型一种加热器及半导体器件的加工设备是由韩影;柳雪;刘镇颉;阮大鹏设计研发完成，并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种加热器及半导体器件的加工设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种加热器及一种半导体器件的加工设备。所述加热器包括：盘体，包括设于所述盘体中心的第一区域的第一电热偶及设于所述第一区域外围的第二区域的第二电热偶，所述第一电热偶和所述第二电热偶分别用于检测所述盘体的各对应区域的温度；以及加热单元，用于分别加热所述第一区域和所述第二区域，用于分别检测所述盘体的各对应区域的温度，从而有效地获取并控制加热盘各区域的温度分布，以提升半导体工艺的制备效率。
本实用新型一种加热器及半导体器件的加工设备在权利要求书中公布了：1.一种加热器，其特征在于，包括： 盘体，包括设于所述盘体中心的第一区域的第一电热偶、设于所述第一区域外围的第二区域的第二电热偶及设于所述第二区域外围的第三区域的第三电热偶，所述第一电热偶、所述第二电热偶及所述第三电热偶分别用于检测所述盘体的各对应区域的温度； 金属层，设于所述第一电热偶、所述第二电热偶及所述第三电热偶之外，用于屏蔽所述第一电热偶、所述第二电热偶及所述第三电热偶在温度检测中所受到的信号干扰；以及 加热单元，用于分别加热所述第一区域、所述第二区域及所述第三区域。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司，其通讯地址为：110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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