甬矽半导体(宁波)有限公司何正鸿获国家专利权
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龙图腾网获悉甬矽半导体(宁波)有限公司申请的专利布线衬底静电释放装置和静电释放器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223528257U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422944075.7，技术领域涉及：H05F3/02；该实用新型布线衬底静电释放装置和静电释放器是由何正鸿;韩新;张成;田旭设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本布线衬底静电释放装置和静电释放器在说明书摘要公布了：本申请涉及一种布线衬底静电释放装置和静电释放器，涉及半导体设备技术领域，该布线衬底静电释放装置，包括静电释放环和静电释放器，静电释放环设置在静电释放器的底侧，并具有圆形内槽，圆形内槽对应于静电释放器的中部，静电释放器用于释放中和离子，且静电释放环远离静电释放器的一侧形成有环形贴合面，环形贴合面用于贴合在静电的表面，并实现静电释放。相较于现有技术，本实用新型提供的布线衬底静电释放装置，针对晶圆进行静电释放，其采用接触式释放工艺，能够有效消除晶圆静电，避免静电击穿导致重布线层失效，且结构简单，体积小巧，可以与晶圆抓取动作相适配，并且采用环形贴合面，接触面积小，避免了晶圆的损坏。
本实用新型布线衬底静电释放装置和静电释放器在权利要求书中公布了：1.一种布线衬底静电释放装置，其特征在于，包括静电释放环和静电释放器，所述静电释放环设置在所述静电释放器的底侧，并具有圆形内槽，所述圆形内槽对应于所述静电释放器的中部，所述静电释放器用于释放中和离子，且所述静电释放环远离所述静电释放器的一侧形成有环形贴合面，所述环形贴合面用于贴合在晶圆的表面，并实现静电释放。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人甬矽半导体(宁波)有限公司，其通讯地址为：315400 浙江省宁波市余姚市中意宁波生态园滨海大道60号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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