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龙图腾网获悉北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司申请的专利晶片传输系统及晶片传输方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN106558520B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201510632068.6，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权晶片传输系统及晶片传输方法是由张鹏设计研发完成，并于2015-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶片传输系统及晶片传输方法在说明书摘要公布了：本发明提供的晶片传输系统及晶片传输方法，其包括依次设置的反应腔室、传输腔室和装载腔室，在各个腔室之间设置有门阀，其中，在传输腔室内设置有机械手，用于在反应腔室与装载腔室之间传输承载晶片的托盘；在装载腔室上设置有密封门；装载腔室包括片盒和用于驱动片盒作升降运动的升降装置，片盒用于支撑沿竖直方向间隔设置的至少两个托盘；片盒的结构被设置为：使托盘可分别自片盒正对门阀的第一侧和正对密封门的第二侧移入或移出。本发明提供的晶片传输系统，其可以在进行工艺的同时，对片盒进行取放片操作，从而不仅可以提高晶片传输系统的传输效率，而且操作人员无需搬运片盒，从而可以更好地满足未来传输更大尺寸的托盘的需求。

本发明授权晶片传输系统及晶片传输方法在权利要求书中公布了：1.一种晶片传输系统，包括依次设置的反应腔室、传输腔室和装载腔室，在各个腔室之间设置有门阀，用于将晶片从大气环境传送到真空环境的所述反应腔室，其中，在所述传输腔室内设置有机械手，所述机械手用于在所述反应腔室与所述装载腔室之间传输承载晶片的托盘；在所述装载腔室上设置有密封门；所述装载腔室包括片盒和用于驱动所述片盒作升降运动的升降装置，所述片盒用于支撑沿竖直方向间隔设置的至少两个所述托盘；其特征在于， 所述片盒包括沿竖直方向间隔设置的至少两层定位块组；所述片盒的结构被设置为：使所述托盘可分别自所述片盒正对所述门阀的第一侧和正对所述密封门的第二侧移入或移出；其中，所述门阀包括第一门阀和第二门阀；并且，在所述反应腔室和所述传输腔室之间，以及所述传输腔室和所述装载腔室之间，相对设置有所述第一门阀与所述第二门阀； 当所述反应腔室中的所述托盘完成工艺后，所述第一门阀与所述第二门阀依次打开，所述机械手用于将完成工艺的托盘从所述反应腔室传送至所述装载腔室，并自所述片盒的第一侧放回至所述片盒的一个定位块组，将另一定位块组上的所述片盒中未加工的托盘自所述片盒的第一侧取出，并传送至所述反应腔室； 所述密封门被设置为可在所述反应腔室进行工艺时被打开，使等待加工的所述托盘自所述片盒的第二侧移入所述装载腔室并被放入所述片盒的所述另一定位块组上，完成工艺的所述托盘从所述片盒的所述一个定位块组取出并自所述片盒的第二侧移出所述装载腔室。

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