深圳中科飞测科技有限公司陈鲁获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技有限公司申请的专利一种承载装置及承载装置的使用方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111554609B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010565922.2,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权一种承载装置及承载装置的使用方法是由陈鲁;范铎;张鹏斌设计研发完成,并于2020-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种承载装置及承载装置的使用方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种承载装置及承载装置的使用方法,其中,该承载装置包括本体,所述本体包括吸附面,所述吸附面用于吸附待吸附物;所述本体还设有真空管路、第一真空孔和第二真空孔;所述第一真空孔设置在所述吸附面表面,所述第二真空孔与外界连通,所述第一真空孔与所述第二真空孔通过所述真空管路连通;还包括开关部件,所述开关部件能够使所述第一真空孔与外界在连通状态或关闭状态之间切换。上述承载装置中待吸附物的真空释放时间可以大幅缩短,生产效率可以提高。
本发明授权一种承载装置及承载装置的使用方法在权利要求书中公布了:1.一种承载装置,其特征在于,包括本体1,所述本体1包括吸附面,所述吸附面用于吸附待吸附物; 所述本体1还设有真空管路、第一真空孔11和第二真空孔12; 所述第一真空孔11设置在所述吸附面表面,所述第二真空孔12与外界连通,所述第一真空孔11与所述第二真空孔12通过所述真空管路连通;还包括开关部件2,所述开关部件2使所述第一真空孔11与外界在连通状态或关闭状态之间切换; 所述开关部件2使所述第二真空孔12在打开状态或封堵状态之间切换;在所述第二真空孔12处于封堵状态时,向所述真空管路内抽真空,能够通过所述第一真空孔11使所述吸附面产生吸附力。
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