深圳市昂德环球科技有限公司高芳亮获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市昂德环球科技有限公司申请的专利AlGaN基深紫外LED外延片及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111739989B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010722267.7,技术领域涉及:H10H20/814;该发明授权AlGaN基深紫外LED外延片及制备方法是由高芳亮;杨金铭设计研发完成,并于2020-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本AlGaN基深紫外LED外延片及制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了AlGaN基深紫外LED外延片及制备方法,其中,所述AlGaN基深紫外LED外延片包括:碳化硅衬底、沉积在所述碳化硅衬底上的Ag层、生长在所述Ag层上的AlN缓冲层、生长在所述AlN缓冲层上的AlGaN缓冲层、生长在所述AlGaN缓冲层上的非掺杂AlGaN层、生长在所述非掺杂AlGaN层上的n型掺杂AlGaN层、生长在所述n型掺杂AlGaN层上的AlGaN多量子阱层、生长在所述AlGaN多量子阱层上的电子阻挡层和生长在所述电子阻挡层上的p型掺杂GaN薄膜。本发明无需采用剥离工艺,外量子效率得到大幅提升;能减少位错的形成,提高了载流子的辐射复合效率,可得到高导热、高导电、高发光性能深紫外LED;深紫外LED电流分布更加均匀,提高出光效率,同时具有良好的散热能力;制备工艺简单,具有可重复性。
本发明授权AlGaN基深紫外LED外延片及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于碳化硅衬底的AlGaN基深紫外LED外延片,其特征在于,包括:碳化硅衬底、沉积在所述碳化硅衬底上的Ag层、生长在所述Ag层上的AlN缓冲层、生长在所述AlN缓冲层上的AlGaN缓冲层、生长在所述AlGaN缓冲层上的非掺杂AlGaN层、生长在所述非掺杂AlGaN层上的n型掺杂AlGaN层、生长在所述n型掺杂AlGaN层上的AlGaN多量子阱层、生长在所述AlGaN多量子阱层上的电子阻挡层和生长在所述电子阻挡层上的p型掺杂GaN薄膜; 所述Ag层的厚度为500-1000nm; 所述AlN缓冲层的厚度为5~50nm; 所述AlGaN缓冲层的厚度为300~500nm; 所述非掺杂AlGaN层的厚度为500~800nm; 所述n型掺杂AlGaN层的厚度为3~5μm; 所述AlGaN多量子阱层为7~10个周期的Al0.3Ga0.7N阱层和Al0.5Ga0.5N垒层,其中Al0.3Ga0.7N阱层的厚度为2~3nm,Al0.5Ga0.5N垒层的厚度为10~13nm; 所述电子阻挡层为Al0.4Ga0.6N电子阻挡层,所述电子阻挡层的厚度为20~50nm; 所述p型掺杂GaN薄膜的厚度为300~350nm。
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