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龙图腾网获悉苏州新尚思自动化设备有限公司申请的专利全自动目检机的晶圆检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111863671B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010762127.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权全自动目检机的晶圆检测系统是由颜博设计研发完成，并于2020-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本全自动目检机的晶圆检测系统在说明书摘要公布了：本发明涉及全自动目检机的晶圆检测系统，其包括晶圆载架、在线目检机构，晶圆载架包括架座、架环、支撑部件、夹持部件，其中在夹持部件的端面上形成有与晶圆边缘匹配的卡槽，卡槽和晶圆的周边点或线接触；晶圆检测系统还包括用于驱动架环自由转动的第一翻转机构、用于驱动架座绕着竖直方向延伸的中心自由转动的第二翻转机构。本发明一方面在简化晶圆载架结构的前提下，可通过点或线接触的模式实现晶圆的定位，使得接触面积小，便于实施晶圆的全面检测，同时在卡槽的限位保护下，不管如何翻转都不会发生晶圆脱落；另一方面通过晶圆绕着水平方向转动，晶圆载架绕着竖直方向转动，以满足在不同角度下实现晶圆表面在线检测要求。

本发明授权全自动目检机的晶圆检测系统在权利要求书中公布了：1.一种全自动目检机的晶圆检测系统，其包括晶圆载架、在线目检机构，其特征在于：晶圆载架包括架座、绕着自身的径向自由转动地设置在架座上的架环、设置在架环上且形成与晶圆外径匹配定位区的支撑部件、设置在架环上且同步抵触在晶圆周边的夹持部件，其中在夹持部件的端面上形成有与晶圆边缘匹配的卡槽，卡槽和晶圆的周边点或线接触；支撑部件包括多个沿着架环的径向向架环中部延伸的支撑模块，其中多个支撑模块远离架环的端部形成定位区；夹持部件包括多个沿着架环的径向向架环中部延伸且远离架环的端面上形成卡槽的夹持模块、以及驱动多个夹持模块同步运动以夹持或脱离晶圆的动力器；每个动力器包括器座、用于将器座和多个夹持模块远离卡槽的端部相衔接的弧形连接条、以及驱动件；架座包括呈圆形的架盘、自架盘内部向上延伸的两根架臂，架环分别通过枢轴转动连接两根架臂之间；在架环上设有沿着架环径向延伸的滑轨，滑轨为两条，且位于同一条直线上，其中两条滑轨的连线与架环的转动中心线平行设置；每个器座滑动设置在滑轨上，驱动件驱动器座在滑轨上直线运动；弧形连接条设有两个，多个夹持模块关于转动中心线对称分布在两个弧形连接条上； 还包括设置在架座上且用于驱动架环自由转动的第一翻转机构、用于驱动架座绕着竖直方向延伸的中心自由转动的第二翻转机构，其中第一翻转机构的转动轴心线与第二翻转机构的转动轴心线相交设置。

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