株式会社迪思科野村哲平获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利激光加工装置以及相位图案的调整方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112809165B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011259115.4,技术领域涉及:B23K26/064;该发明授权激光加工装置以及相位图案的调整方法是由野村哲平;植木笃设计研发完成,并于2020-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光加工装置以及相位图案的调整方法在说明书摘要公布了:提供激光加工装置以及相位图案的调整方法,能够抑制加工装置间的向被加工物照射的激光束的性能差异,从而能够得到期望的加工结果。激光加工装置包含向被加工物照射激光束的激光束照射单元和控制单元。激光束照射单元包含:激光振荡器,其振荡出激光;聚光透镜;凹面镜,其在聚光透镜的聚光点处具有焦点,并且反射面为球面;分束器,其使从激光振荡器射出的激光束向聚光透镜通过并对反射光进行分支;以及波面测定单元,其接收反射光并取得激光束的波面数据,控制单元根据波面数据来变更显示在空间光调制器的显示部上的相位图案。
本发明授权激光加工装置以及相位图案的调整方法在权利要求书中公布了:1.一种激光加工装置,其具有: 卡盘工作台,其对被加工物进行保持; 激光束照射单元,其向该卡盘工作台所保持的被加工物照射激光束;以及 控制单元, 该激光束照射单元包含: 激光振荡器,其振荡出激光; 聚光透镜,其对从该激光振荡器射出的激光束进行聚光; 凹面镜,其被定位成在该聚光透镜的聚光点处具有焦点,并且该凹面镜的反射该激光束的反射面为球面; 分束器,其使从该激光振荡器射出的激光束通向该聚光透镜,并且对被该聚光透镜聚光并被该凹面镜的反射面反射的反射光进行分支;以及 波面测定单元,其接收被该凹面镜的反射面反射并由该分束器分支的该反射光,取得作为该激光束的相位的空间分布的波面数据, 该控制单元根据该波面测定单元所测定出的波面数据,变更配设于该激光振荡器与该聚光透镜之间的空间光调制器的显示部所显示的相位图案, 该控制单元还包含: 计算部,其对该波面测定单元所测定出的作为该激光束的相位的空间分布的波面数据进行泽尼克多项式近似,从而计算泽尼克系数; 相位图案生成部,其生成具有规定的泽尼克系数的相位图案并使该相位图案显示在该空间光调制器的显示部上;以及 存储部,其预先存储输入到该相位图案中的泽尼克系数与在该空间光调制器的显示部上显示有被输入了该泽尼克系数的相位图案时由该波面测定单元测定的激光束的泽尼克系数之间的相关关系, 该相位图案生成部根据存储在该存储部中的相关关系的表,对输入到该显示部所显示的相位图案中的泽尼克系数进行逆运算,以使该波面测定单元所测定的激光束的泽尼克系数为期望的值。
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