东京毅力科创株式会社舆水地盐获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利等离子体处理装置及等离子体处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113078040B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011450996.8，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子体处理装置及等离子体处理方法是由舆水地盐;玉虫元;井上雅博设计研发完成，并于2020-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体处理装置及等离子体处理方法在说明书摘要公布了：公开的等离子体处理装置具备腔室、基板支承器、高频电源、偏置电源及控制部。偏置电源构成为周期性地将脉冲状的负极性的直流电压施加到基板支承器。控制部构成为控制高频电源。控制部为了降低来自高频电源的负载的反射波的功率电平，控制高频电源，以使在对基板支承器施加来自偏置电源的脉冲状的负极性的直流电压的周期内供给其频率变化的高频电力。
本发明授权等离子体处理装置及等离子体处理方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理装置，其具备： 腔室； 基板支承器，具有基座及设置于该基座上的静电吸盘，并构成为在所述腔室内支承载置于其上的基板； 高频电源，构成为产生为了从所述腔室内的气体生成等离子体而供给的高频电力； 偏置电源，与所述基板支承器电连接，构成为周期性地将脉冲状的负极性的直流电压即单一电压脉冲施加到所述基板支承器；及 控制部，构成为控制所述高频电源， 所述控制部为了降低来自所述高频电源的负载的反射波的功率电平，控制所述高频电源，以使在对所述基板支承器施加来自所述偏置电源的所述单一电压脉冲的周期内供给其频率变化的所述高频电力。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励