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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113889392B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110710451.4，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子体处理装置是由齐藤武尚;梅泽义弘;藤原直树设计研发完成，并于2021-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本等离子体处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种等离子体处理装置。等离子体处理装置具备的天线由导电性的材料形为线状，且隔着电介质窗设置于腔室的上方。天线通过向腔室内辐射RF电力来在腔室内生成等离子体。构成天线的线路的两端开放，从电力供给部向线路的中点附近供电，该天线在线路的中点附近被接地，该天线以从电力供给部供给的RF波电力的12波长进行谐振。天线的第一部分与电介质窗的下表面之间的距离、以及天线的第二部分与电介质窗的下表面的距离比天线的中间部分与电介质窗的下表面之间的距离长，第一部分是天线的从的第一端部起的第一距离的范围的部分，第二部分是天线的从第二端部起的第二距离的范围的部分，中间部分是天线的第一部分与第二部分之间的部分。

本发明授权等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理装置，具备： 腔室，其容纳基板； 电介质窗，其构成所述腔室的上部； 第一天线，其由导电性的材料形成为线状，隔着所述电介质窗设置于所述腔室的上方，所述第一天线通过向所述腔室内辐射射频电力来在所述腔室内生成等离子体；以及 第一电力供给部，其向所述第一天线供给射频电力， 其中，所述第一天线构成为：构成所述第一天线的第一线路的两端开放，从所述第一电力供给部向所述第一线路的中点或者该中点的附近供电，所述第一天线在所述中点的附近被接地，所述第一天线以从所述第一电力供给部供给的射频波电力的12波长进行谐振， 所述第一天线具有： 第一部分，其是所述第一天线的、比从第一端部起朝向所述第一线路的中央部分离了第一距离的第一位置更靠所述第一端部侧的部分，所述第一端部是所述第一线路的两端中的一个端部； 第二部分，其是所述第一天线的、比从第二端部起朝向所述第一线路的中央部分离了第二距离的第二位置更靠所述第二端部侧的部分，所述第二端部是所述第一线路的两端中的另一个端部； 第一中间部分，其是所述第一天线的、所述第一部分与所述第二部分之间的部分， 其中，所述第一部分与所述电介质窗的下表面之间的距离、以及所述第二部分与所述电介质窗的下表面之间的距离比所述第一中间部分与所述电介质窗的下表面之间的距离长， 其中，在所述第一部分和所述第二部分中，从所述第一线路的中央部沿所述第一线路分离了距离x的位置处的所述第一天线和所述电介质窗的下表面之间的距离zx满足下式： 其中，α为比例常数，Vm为在所述第一线路上产生的电压的最大值，2L为所述第一线路的长度，Emax为在所述电介质窗的下表面产生的能够使得不从所述电介质窗的下表面产生污染的最大的电场的强度。

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