三星电子株式会社曹圭镐获国家专利权
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龙图腾网获悉三星电子株式会社申请的专利电容器及制造电容器和半导体器件的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113964269B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111189869.1,技术领域涉及:H10D1/62;该发明授权电容器及制造电容器和半导体器件的方法是由曹圭镐;姜相列;金洙焕;文瑄敏;朴瑛琳;徐钟汎;全柱炫设计研发完成,并于2018-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本电容器及制造电容器和半导体器件的方法在说明书摘要公布了:电容器包括:彼此间隔开的第一电极和第二电极;电介质层,设置在第一电极和第二电极之间,电介质层包括铪和锆中至少之一;第一插入层,设置在第一电极和电介质层之间;以及第二插入层,设置在电介质层和第二电极之间。第一插入层包括与形成电介质层的铪或锆不同的第一导电材料。第二插入层包括与形成电介质层的铪或锆不同的第二导电材料。第一导电材料和第二导电材料各自的晶格常数与电介质层的电介质材料的水平晶格常数具有2%或更小的晶格失配。
本发明授权电容器及制造电容器和半导体器件的方法在权利要求书中公布了:1.一种电容器,包括: 彼此间隔开的第一电极和第二电极; 电介质层,设置在所述第一电极和所述第二电极之间,所述电介质层包括具有四方晶体结构的氧化铪或具有四方晶体结构的氧化锆; 第一籽晶层,设置在所述第一电极和所述电介质层之间;以及 第二籽晶层,设置在所述电介质层和所述第二电极之间, 其中,所述第一籽晶层包括与在所述电介质层中包括的铪元素或锆元素不同的第一导电材料, 其中,所述第二籽晶层包括与在所述电介质层中包括的铪元素或锆元素不同的第二导电材料,并且 其中,所述第一导电材料和所述第二导电材料各自的晶格常数与所述电介质层的电介质材料的水平晶格常数具有2%或更小的晶格失配。
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