应用材料公司艾伦·曹获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于曝光后处理的方法及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113994456B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080045314.7，技术领域涉及：H01L21/027；该发明授权用于曝光后处理的方法及设备是由艾伦·曹;梁奇伟;兰斯洛特·黄;高塔姆·皮莎罗蒂设计研发完成，并于2020-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于曝光后处理的方法及设备在说明书摘要公布了：本文描述的实施方式涉及用于曝光后处理的方法及设备。更特定而言，本文描述的实施方式涉及场引导的曝光后烘烤iFGPEB腔室及处理。在一个实施方式中，将基板传送至曝光后处理腔室中，且接着通过多个升降销将基板抬升至预处理位置。基板支撑件接着被抬升以与基板接合，且在iFGPEB处理之前真空吸附基板于其上。
本发明授权用于曝光后处理的方法及设备在权利要求书中公布了：1.一种基板处理方法，包含： 将基板定位在处理腔室的第一空间内的多个升降销上，所述多个升降销设置于第一位置中； 将其上定位有所述基板的所述多个升降销移动至所述第一空间内的第二位置； 将设置于所述第一空间内的基板支撑件移动至所述第二位置以接合所述基板，以便通过与所述基板支撑件的所述接合来加热所述基板； 将具有与其接合的所述基板的所述基板支撑件移动至与所述处理腔室中的第二空间相邻的第三位置，其中所述第二空间部分由所述基板及设置于所述处理腔室的顶板中的电极界定；及 在所述第二空间内处理所述基板。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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