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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利立式热处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114464558B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210156415.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权立式热处理设备是由胡帅帅;刘红丽设计研发完成，并于2022-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本立式热处理设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种立式热处理设备，包括：机箱设有第一承载板、容置腔和装载腔，第一承载板具有第一避让口；炉体整体位于容置腔内，炉体通过调整机构高度可调地安装于第一承载板；炉管设置在炉体内且炉管的底部由炉口向下伸出并经由第一避让口延伸至装载腔内，炉管可拆卸地安装于第一承载板，炉管伸出炉体的部分全部可拆卸地套设有保温套，炉管的内部空间形成工艺腔，炉管的底部具有管口，在炉体通过调整机构调整高度后，管口与第一承载板在竖直方向上的距离始终保持不变，保温套的长度与炉管伸出炉体的部分的长度相适配；承载舟用于承载待加工件，承载舟能够整体均位于工艺腔内。上述设备无需改变炉体就能够实现适配不同长度的承载舟。

本发明授权立式热处理设备在权利要求书中公布了：1.一种立式热处理设备，其特征在于，包括： 机箱，所述机箱内设有第一承载板，所述第一承载板将所述机箱的内部空间分隔为由上至下依次布置的容置腔和装载腔，所述第一承载板具有第一避让口，所述第一避让口连通所述容置腔和所述装载腔； 炉体及调整机构，所述炉体整体位于所述容置腔内，所述炉体通过所述调整机构高度可调地安装于所述第一承载板，所述炉体的底部具有炉口； 炉管及保温套，所述炉管设置在所述炉体内，且所述炉管的底部由所述炉口向下伸出，并经由所述第一避让口延伸至所述装载腔内，所述炉管可拆卸地安装于所述第一承载板，所述炉管伸出所述炉体的部分全部可拆卸地套设有所述保温套，所述炉管的内部空间形成工艺腔，所述炉管的底部具有管口，其中， 在所述炉体通过所述调整机构调整高度后，所述管口与所述第一承载板在竖直方向上的距离始终保持不变，所述保温套的长度与所述炉管伸出所述炉体的部分的长度相适配； 承载舟，用于承载待加工件，所述承载舟能够由所述装载腔经所述管口进入至所述工艺腔，且所述承载舟整体均位于所述工艺腔内。

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