国际商业机器公司S.福尔摩斯获国家专利权
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龙图腾网获悉国际商业机器公司申请的专利用离子注入方法制造的马约拉纳费米子量子计算器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114762137B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080078195.5,技术领域涉及:H10N60/80;该发明授权用离子注入方法制造的马约拉纳费米子量子计算器件是由S.福尔摩斯;D.萨达纳;S.哈特;S.比德尔;李宁;P.古曼设计研发完成,并于2020-11-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本用离子注入方法制造的马约拉纳费米子量子计算器件在说明书摘要公布了:通过在超导体层410上形成限定器件区域和器件区域内的感测区域的第一抗蚀剂图案来制造量子计算器件。去除感测区域内的超导体层,从而暴露器件区域外部的下面的半导体层340的区域。对半导体层的暴露的区域进行注入,形成围绕器件区域的隔离区域240。在注入之后使用蚀刻工艺,暴露感测区域和与隔离区域相邻的超导体层的器件区域的部分。通过在感测区域内沉积第一金属层,形成隧道结栅极204。通过将半导体层与第二金属层耦合来形成感测区域栅极202。还形成化学势栅极208,210。使用所述第二金属在感测区域外部的器件区域的部分内形成纳米棒触点206,212。
本发明授权用离子注入方法制造的马约拉纳费米子量子计算器件在权利要求书中公布了:1.一种量子计算器件,包括: 位于半导体层之上的超导体层上的器件区域; 位于所述器件区域内的感测区域,所述感测区域包括不包括超导体层的所述器件区域的部分; 隧道结栅极,包括所述感测区域内的第一金属; 化学势栅极,包括在所述感测区域外部的所述器件区域的部分内的电介质和所述第一金属; 感测区域栅极,包括耦合到所述感测区域内的所述半导体层的第二金属;以及 纳米棒触点,包括耦合到所述感测区域外部的所述器件区域的所述部分内的所述超导体层的第二金属。
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