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龙图腾网获悉哈尔滨理工大学申请的专利AlN陶瓷基四悬臂桥连微热板气体传感器阵列及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115096944B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210719616.9，技术领域涉及：G01N27/00；该发明授权AlN陶瓷基四悬臂桥连微热板气体传感器阵列及其制备方法是由赵文杰;刘金伦;闫瑞田;李涵;徐丹;陈寅生设计研发完成，并于2022-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本AlN陶瓷基四悬臂桥连微热板气体传感器阵列及其制备方法在说明书摘要公布了：AlN陶瓷基四悬臂桥连微热板气体传感器阵列及其制备方法，本发明的目的是为了解决现有微热板传感器机械性能差、热干扰和热稳定性不足的问题。本发明AlN陶瓷基四悬臂桥连微热板气体传感器阵列中的衬底是在矩形框中设置四个悬臂，四个悬臂形成十字形结构，在每个悬臂的正面设置有叉指信号电极，每个悬臂的背面设置有加热器电极，加热器电极和信号电极正反面对称设置，在信号电极的电极间设置敏感膜形成传感器阵列单元，其中加热器电极为蛇形结构，衬底为AlN陶瓷基片。本发明加热器电极和信号电极为铂膜结构，且位置正反面对称，图案结构通过双面柔性机械光刻剥离工艺实现，AlN陶瓷基衬底的机械性能更好。

本发明授权AlN陶瓷基四悬臂桥连微热板气体传感器阵列及其制备方法在权利要求书中公布了：1.AlN陶瓷基四悬臂桥连微热板气体传感器阵列，其特征在于该AlN陶瓷基四悬臂桥连微热板气体传感器阵列包括：衬底1、加热器电极2、第一热隔离通孔3、第二热隔离通孔4、第三热隔离通孔5、信号电极6和敏感膜7；所述的衬底1是在矩形框1-1中设置四个悬臂1-2，四个悬臂1-2形成十字形结构，十字形结构的中心开有第二热隔离通孔4，相邻悬臂1-2之间开有第一热隔离通孔3，所述的第一热隔离通孔3呈梯形，在每个悬臂1-2上开有第三热隔离通孔5，所述的第三热隔离通孔5呈矩形； 在每个悬臂1-2的正面设置有信号电极6，所述的信号电极6为叉指电极，每个悬臂1-2的背面设置有加热器电极2，加热器电极2和信号电极6正反面对称设置，在信号电极6的电极间设置敏感膜7形成传感器阵列单元，所述的信号电极6为Pt膜，信号电极6的Pt膜厚度为500~1000nm；四个传感器阵列单元之间通过微梁8连接，形成悬臂式桥连结构，其中加热器电极2为蛇形结构，加热器电极2为Pt膜，加热器电极2的Pt膜厚度为500~1000nm，加热器电极2的线宽为20~100μm，衬底1为AlN陶瓷基片。

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