北京北方华创微电子装备有限公司关啸尘获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利测温装置的调整固定装置及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115420094B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211041485.X，技术领域涉及：F27B1/28；该发明授权测温装置的调整固定装置及半导体设备是由关啸尘;杨帅;杨慧萍;黄嵘彪设计研发完成，并于2022-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本测温装置的调整固定装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种测温装置的调整固定装置及半导体设备，测温装置包括水平段和与水平段连接的竖直段，水平段贯穿半导体反应腔室，由半导体反应腔室的外部伸入至内部，竖直段位于半导体反应腔室内，由半导体反应腔室的底部延伸至顶部，调整固定装置包括固定支撑组件和第一调节组件，固定支撑组件设置在半导体反应腔室内，第一调节组件设置在固定支撑组件上，并与水平段位于半导体反应腔室内的部分相配合，用于通过调节水平段的水平度，来调节竖直段的垂直度。本发明提供的测温装置的调整固定装置及半导体设备，能够提高设备稳定性，从而能够提高测温准确性，进而能够提高控温准确性，改善半导体工艺结果。
本发明授权测温装置的调整固定装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种测温装置的调整固定装置，所述测温装置包括水平段和与所述水平段连接的竖直段，所述水平段贯穿半导体反应腔室，由所述半导体反应腔室的外部伸入至内部，所述竖直段位于所述半导体反应腔室内，由所述半导体反应腔室的底部延伸至顶部，其特征在于，所述调整固定装置包括固定支撑组件和第一调节组件，所述固定支撑组件设置在所述半导体反应腔室内，所述第一调节组件设置在所述固定支撑组件上，并与所述水平段位于所述半导体反应腔室内的部分相配合，用于通过调节所述水平段的水平度，来调节所述竖直段的垂直度； 所述调整固定装置还包括第二调节组件，所述第二调节组件设置在所述固定支撑组件上，并与所述水平段位于所述半导体反应腔室内的部分相配合，用于通过以所述水平段的轴线为轴旋转调节所述水平段，来调节所述竖直段的垂直度。
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