上海微芸半导体科技有限公司张二辉获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微芸半导体科技有限公司申请的专利一种加热器及等离子刻蚀设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115442926B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211267666.4，技术领域涉及：H05B3/22；该发明授权一种加热器及等离子刻蚀设备是由张二辉;王俊设计研发完成，并于2022-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种加热器及等离子刻蚀设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种加热器及等离子刻蚀设备，所述加热器包括：若干连接部和若干长度不同的指状凸出部，所述若干连接部和若干指状凸出部均匀布满所述加热器；所述连接部设置在所述加热器的边缘，与所述指状凸出部交替设置，一体化连接；若干长度不同的所述指状凸出部交错排布，且分别从与所述连接部的连接端指向所述加热器的中心。本申请提供一种加热器及等离子刻蚀设备，对加热器的结构进行改进，可以提高加热器的加热效率以及温度均匀性。
本发明授权一种加热器及等离子刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种加热器，用于等离子刻蚀设备，其特征在于，包括： 若干连接部和若干长度不同的指状凸出部，所述若干连接部和若干指状凸出部均匀布满所述加热器，所述指状凸出部为由金属线弯折而成的双层“U”字形，所述连接部为由金属线弯折而成的单层“工”字形； 所述连接部设置在所述加热器的边缘，与所述指状凸出部交替设置，一体化连接； 若干长度不同的所述指状凸出部交错排布，且分别从与所述连接部的连接端指向所述加热器的中心。
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