上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司翁杰获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司申请的专利一种用于研磨压力调整控制的装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115454158B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211157603.3，技术领域涉及：G05D15/01；该发明授权一种用于研磨压力调整控制的装置及方法是由翁杰;雷烊炀;陈鸿泽;孙建锋设计研发完成，并于2022-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于研磨压力调整控制的装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于研磨压力调整控制的装置及方法，通过将压力感应片贴附于研磨头上，获取研磨头的多个压力分区的第一输出压力和第二输出压力，第一输出压力与多个压力分区的初始输入压力对应，第二输出压力与多个压力分区调整后的输入压力对应；通过控制模组根据研磨对象上与多个压力分区对应的多个工艺分区的研磨后厚度测量值，确定多个压力分区的输出压力的调整比率，并调整多个压力分区的初始输入压力至目标输入压力，使得第二输出压力相对第一输出压力的压力变化率与调整比率相一致，继而以目标输入压力进行量产研磨，从而能更准确地调整各个区域的压力大小，实现最优的平坦化效果，提升了压力调整效率，并降低了调错的风险。
本发明授权一种用于研磨压力调整控制的装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种用于研磨压力调整控制的装置，其特征在于，包括： 压力感应片，贴附于研磨头的下表面上，用于获取所述研磨头的多个压力分区的第一输出压力和第二输出压力，所述第一输出压力与所述多个压力分区的初始输入压力对应，所述第二输出压力与所述多个压力分区调整后的输入压力对应； 控制模组，用于根据研磨对象上与所述多个压力分区对应的多个工艺分区的研磨后厚度测量值，确定所述多个压力分区的输出压力的调整比率；以及用于调整所述多个压力分区的初始输入压力至目标输入压力，使得所述第二输出压力相对所述第一输出压力的压力变化率与所述调整比率相一致。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司，其通讯地址为：201800 上海市嘉定区叶城路1288号6幢JT2216室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励