罗伯特·博世有限公司R·舍本获国家专利权
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龙图腾网获悉罗伯特·博世有限公司申请的专利用于转速传感器的微机械构件及其制造方法、转速传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115461595B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180031780.4,技术领域涉及:G01C19/5769;该发明授权用于转速传感器的微机械构件及其制造方法、转速传感器是由R·舍本;R·毛尔;M·屈内尔;S·梅尔基施;T·巴尔斯林科;N·F·库尔曼;W·盖格尔设计研发完成,并于2021-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于转速传感器的微机械构件及其制造方法、转速传感器在说明书摘要公布了:一种用于转速传感器的具有关于垂直于衬底表面10定向且与这些转子质量在中心相交的第一对称平面14镜像对称并且可被置于围绕垂直于该衬底表面定向的旋转轴线18a,18b的扭转振动运动16a,16b中的两个转子质量12a,12b,和关于第一对称平面镜像对称并且可借助转子质量平行于第一对称平面地偏转的四个振动质量22a,22b,24a和24b的微机械构件,第一转子质量12a和附接在第一转子质量上的第一对振动质量22a,22b关于垂直于该衬底表面及第一对称平面定向的第二对称平面26与第二转子质量12b和附接在第二转子质量上的第二对振动质量24a,24b镜像对称。
本发明授权用于转速传感器的微机械构件及其制造方法、转速传感器在权利要求书中公布了:1.一种用于转速传感器的微机械构件,所述微机械构件具有: 衬底,所述衬底具有衬底表面10; 一件式的第一转子质量12a和一件式的第二转子质量12b,所述第一转子质量和所述第二转子质量关于垂直于所述衬底表面10定向且与所述第一转子质量12a和所述第二转子质量12b在中心相交的第一对称平面14镜像对称地构造和或布置成使得所述第一转子质量12a能够被置于围绕垂直于所述衬底表面10定向的第一旋转轴线18a的第一扭转振动运动16a中,并且所述第二转子质量12b能够被置于围绕平行于所述第一旋转轴线18a定向的第二旋转轴线18b的第二扭转振动运动16b中,所述第二扭转振动运动相对于所述第一扭转振动运动16a相移180°;和 四个振动质量22a,22b,24a和24b,所述四个振动质量关于所述第一对称平面14镜像对称地构造和或布置成使得所述四个振动质量22a,22b,24a和24b能够借助被置于其各自的扭转振动运动16a,16b中的两个转子质量12a,12b分别平行于所述第一对称平面14地偏转; 其特征在于, 所述第一转子质量12a和所述四个振动质量22a,22b,24a和24b中的附接在所述第一转子质量12a上的第一对振动质量22a,22b关于第二对称平面26与所述第二转子质量12b和所述四个振动质量22a,22b,24a和24b中的附接在所述第二转子质量12b上的第二对振动质量24a,24b镜像对称地构造和或布置,所述第二对称平面垂直于所述衬底表面10且垂直于所述第一对称平面14定向。
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