应用材料公司罗伊·C·南戈获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于抛光液体传输臂的清洁系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115697632B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180042188.4，技术领域涉及：B24B53/017；该发明授权用于抛光液体传输臂的清洁系统是由罗伊·C·南戈;沙塔努·拉吉夫·加吉尔;内森·阿伦·戴维斯;艾伦·L·丹布拉;迈克尔·J·考夫林;苏米特·苏巴什·帕坦卡设计研发完成，并于2021-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于抛光液体传输臂的清洁系统在说明书摘要公布了：一种抛光组件，包括用以支撑抛光垫的能够旋转的工作台；抛光液体传输臂，具有在底部处开启的围护件，和一个或更多个端口，以传输抛光液体和清洁流体向下通过围护件的内部空间至抛光垫上；以及传输臂清洁工具，可移除地附加至抛光液体传输臂，清洁工具在传输臂下方延伸，且具有面向传输臂的表面，被塑形使得清洁工具从抛光液体传输臂引导清洁流体至抛光液体传输臂的围护件的表面上。
本发明授权用于抛光液体传输臂的清洁系统在权利要求书中公布了：1.一种抛光组件，包括： 能够旋转的工作台，用以支撑抛光垫； 抛光液体传输臂，具有在底部开放的围护件和一个或多个端口，用以传输抛光液体和清洁流体向下通过所述围护件的内部空间至所述抛光垫上；及 传输臂清洁工具，可移除地附加至所述抛光液体传输臂，所述传输臂清洁工具在所述抛光液体传输臂下方延伸，并且具有面向抛光液体传输臂的表面，所述面向抛光液体传输臂的表面被构形为使得所述传输臂清洁工具把来自所述抛光液体传输臂的所述清洁流体引导至所述抛光液体传输臂的所述围护件的内表面上以清洁所述围护件的所述内表面或所述一个或多个端口。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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