尚义县荣登新能源有限公司安艳龙获国家专利权
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龙图腾网获悉尚义县荣登新能源有限公司申请的专利一种N型硅片的吸杂方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115775845B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211508712.5,技术领域涉及:H10F71/00;该发明授权一种N型硅片的吸杂方法是由安艳龙;王步峰;王强;陈斌设计研发完成,并于2022-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种N型硅片的吸杂方法在说明书摘要公布了:一种N型硅片的吸杂方法,对化学清洗及抛光后的硅片机体在700‑850°高温下退火炉内进行退火吸杂,退火吸杂过程中将氧气通入退火炉内,在氧气进入退火炉之前,氧气在低温纯水瓶内水浴通过,使氧气携带水蒸气进入退火炉内进行氧化反应;随后往退火炉内通入氮气,氮气进入退火炉之前,氮气在20℃恒温三氯氧磷恒温瓶内通过,使氮气携带三氯氧磷进入退火炉内,其通过对硅片机体进行高温退火处理,有效防止沉积金属离子杂质到硅片内部形成缺陷,改善N型硅片的质量,使得电池的转换效率更集中,综合效率提升可超过0.2%。
本发明授权一种N型硅片的吸杂方法在权利要求书中公布了:1.一种N型硅片的吸杂方法,包括对金刚线切割后的硅片进行化学清洗及抛光工艺,其特征在于采用以下步骤:步骤一:将清洗后的硅片放入高温扩散退火炉内; 步骤二:在700-850℃下,通入100-5000sccm的氧气,氧气进入设备前在20摄氏度下的纯水瓶内水浴通过,保证携带一定量的水蒸气进入炉管内部,反应持续100-2000秒; 步骤三:在700-850℃下,通入100-3000sccm的氮气,氮气进入退火炉前,氮气通过20℃的三氯氧磷恒温瓶,通过氮气携带的方式,携带三氯氧磷进入到反应炉管内部,持续时间100-3000秒; 步骤四:在700-850℃下,对硅片进行持续高温吸杂,持续时间100-2000秒。
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