北京燕东微电子股份有限公司淮永进获国家专利权
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龙图腾网获悉北京燕东微电子股份有限公司申请的专利MEMS器件及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115947298B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310118224.1，技术领域涉及：B81B7/02；该发明授权MEMS器件及其制备方法是由淮永进;韦仕贡;陈建鹏;张立明设计研发完成，并于2023-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS器件及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种MEMS器件及其制备方法，其中MEMS器件包括衬底，以及层叠设置在所述衬底上的第一电极层和第二电极层，其中：所述第二电极层包括相连接的锚点与横梁，所述锚点支撑在所述横梁的至少一个端部与所述第一电极层之间，所述横梁的中部悬空于所述第一电极层；所述锚点包括第一锚固部与第二锚固部，所述第一锚固部与所述第二锚固部间隔设置且分别固定在所述横梁的端部的相对两侧。本申请实施例提供的MEMS器件具有避免温度变化时横梁弯曲，利于提高MEMS器件的性能的优点。
本发明授权MEMS器件及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS器件，其特征在于，包括衬底，以及基于所述衬底层叠设置的第一电极层和第二电极层，其中： 所述第二电极层包括相连接的锚点与横梁，所述锚点支撑在所述横梁的至少一个端部与所述第一电极层之间，所述横梁的中部悬空于所述第一电极层； 所述锚点包括第一锚固部与第二锚固部，所述第一锚固部与所述第二锚固部间隔设置且分别固定在所述横梁的端部宽度方向的相对两侧； 所述第一锚固部具有第一宽度，所述第二锚固部具有第二宽度，所述第一宽度与所述第二宽度之和为所述横梁的端部的宽度的10%～50%。
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