上海汇得科技股份有限公司钱建中获国家专利权
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龙图腾网获悉上海汇得科技股份有限公司申请的专利一种化学机械研磨用聚氨酯抛光垫基材及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116082600B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211725173.0,技术领域涉及:C08G18/66;该发明授权一种化学机械研磨用聚氨酯抛光垫基材及其制备方法是由钱建中;李思宁;翟滢皓;王怿晟;龚红英设计研发完成,并于2022-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学机械研磨用聚氨酯抛光垫基材及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于芯片制造技术领域,具体涉及一种化学机械研磨用聚氨酯抛光垫基材及其制备方法。本发明的化学机械研磨用聚氨酯抛光垫基材的制备方法包括下述步骤:1预聚体的制备:使端羟基化合物和有机多元异氰酸酯反应,得到预聚体;2将所述预聚体、3,5‑二甲硫基甲苯二胺和发泡剂混合均匀,加热固化,熟化,即得化学机械研磨用聚氨酯抛光垫基材;端羟基化合物为聚四氢呋喃二元醇和或聚己内酯二元醇;有机多元异氰酸酯为二环己基甲烷二异氰酸酯。本发明的化学机械研磨用聚氨酯抛光垫基材在保持同类产品性能的同时,可以适配更多填料,且大幅提高了使用寿命,降低成本。
本发明授权一种化学机械研磨用聚氨酯抛光垫基材及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种化学机械研磨用聚氨酯抛光垫基材的制备方法,其特征在于,所述制备方法由下述步骤组成: 1对端羟基化合物进行脱水; 2预聚体的制备:使端羟基化合物和有机多元异氰酸酯反应,得到预聚体; 3将所述预聚体、3,5-二甲硫基甲苯二胺和发泡剂混合均匀,加热固化,熟化,即得所述化学机械研磨用聚氨酯抛光垫基材; 所述端羟基化合物为聚四氢呋喃二元醇和或聚己内酯二元醇,所述端羟基化合物的分子量为2000-4000; 所述有机多元异氰酸酯为二环己基甲烷二异氰酸酯; 步骤2中,所述端羟基化合物的用量为150-295重量份,所述有机多元异氰酸酯的用量为100重量份;步骤2中,所述反应的温度为85-95℃,反应时间为1.5-3h; 步骤3中,所述预聚体的用量为100重量份、所述3,5-二甲硫基甲苯二胺的用量为9-15重量份、所述发泡剂的用量为3-5重量份,所述发泡剂为F-50、ACP-2或碳酸氢钠中的至少一种;步骤3中,所述加热固化的温度为120-130℃,固化的时间为2-5h;步骤3中,所述熟化的温度为100-120℃,熟化的时间为10-14h。
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