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龙图腾网获悉西安近代化学研究所申请的专利一种基于二自由度谐振器的谐振式温度传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116124318B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310002594.9，技术领域涉及：G01K7/32；该发明授权一种基于二自由度谐振器的谐振式温度传感器及其制备方法是由康昊;何性顺;严家佳;张俊锋;陈君设计研发完成，并于2023-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于二自由度谐振器的谐振式温度传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于二自由度谐振器的谐振式温度传感器及其制备方法。所公开的传感器包括锚点和两个谐振器，两个谐振器通过耦合结构微弱的耦合在一起，二自由度谐振器系统固定于四个锚点。两个谐振器在谐振频率处振动，两个谐振器的振幅相等；当外界温度发生变化时，由于传感器与基底材料热膨胀系数的差异，从而带动锚点移动，进而增加了其中一个谐振器的应力，该应力会引起其中一个谐振器的刚度改变；另一个谐振器的应力释放结构消除了锚点移动所产生的应力，进而该谐振器的刚度不受影响。进而可通过检测两个谐振器的振幅比可以获得外界温度的大小。

本发明授权一种基于二自由度谐振器的谐振式温度传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于二自由度谐振器的谐振式温度传感器，包括基底，其特征在于： 所述基底上设有两个第一锚点、两个第二锚点和驱动电极； 所述第一锚点和第二锚点的结构相同；两个第一锚点所在第一直线与两个第二锚点所在第二直线平行，且驱动电极位于两条直线之间； 所述两个第一锚点之间设有第一谐振器，所述两个第二锚点之间设有第二谐振器；所述第一谐振器和第二谐振器之间设有耦合结构： 所述第一谐振器包括第一检测电容、第一质量块、第一谐振梁和两个应力释放结构；所述第二谐振器包括第二检测电容、第二质量块和第二谐振梁； 所述第一谐振器的两个应力释放结构分别与两个第一锚点连接，所述第一检测电容、第一质量块和第一谐振梁位于两个应力释放结构之间，且第一谐振梁与两个应力释放结构连接，所述应力释放结构沿第一直线所在方向上的刚度小于沿与第一直线垂直方向上的刚度； 所述第二谐振器的第二谐振梁两端分别连接第二锚点； 同时第一谐振器的第一检测电容、第一质量块和第一谐振梁和第二谐振器的第二检测电容、第二质量块和第二谐振梁相对于驱动电极对称设置，且驱动电极位于第一质量块和第二质量块之间； 所述耦合结构与第一谐振梁和第二谐振梁连接，所述耦合结构的刚度小于第一谐振器的刚度、同时小于第二谐振器的刚度。

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