应用材料公司库普雷特·辛格·维迪获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利使用带电粒子束装置对样品进行成像的方法、校准带电粒子束装置的方法及带电粒子束装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116134578B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080104889.1，技术领域涉及：H01J37/26；该发明授权使用带电粒子束装置对样品进行成像的方法、校准带电粒子束装置的方法及带电粒子束装置是由库普雷特·辛格·维迪;伯纳德·G·穆勒;伯恩哈德·舒勒设计研发完成，并于2020-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本使用带电粒子束装置对样品进行成像的方法、校准带电粒子束装置的方法及带电粒子束装置在说明书摘要公布了：一种使用带电粒子束装置对样品进行成像的方法，包含：确定带电粒子束装置的物镜的第一聚焦强度，第一聚焦强度适于将带电粒子束聚焦在样品的第一表面区域上；确定多个焦点子范围的第一焦点子范围，使得第一聚焦强度在第一焦点子范围内，其中多个聚焦子范围与校准参数的一组值相关联；确定校准参数的第一值，第一值与第一焦点子范围相关联；以及利用第一值对第一表面区域进行成像。
本发明授权使用带电粒子束装置对样品进行成像的方法、校准带电粒子束装置的方法及带电粒子束装置在权利要求书中公布了：1.一种使用带电粒子束装置对样品进行成像的方法，包含以下步骤： 确定所述带电粒子束装置的物镜的第一聚焦强度，所述第一聚焦强度适于在所述样品的第一表面区域上聚焦带电粒子束； 确定多个焦点子范围的第一焦点子范围，使得所述第一聚焦强度在所述第一焦点子范围内，其中所述多个焦点子范围与校准参数的一组值相关联； 确定所述校准参数的第一值，所述第一值与所述第一焦点子范围相关联；以及 利用所述第一值对所述第一表面区域进行成像， 其中所述多个焦点子范围是通过以下方式确定的： 通过针对第一多个聚焦强度中的每一者执行校准物体的第一测量来执行第一测量； 通过基于所述第一测量针对所述第一多个聚焦强度中的每一者确定测量误差来确定测量误差；以及 基于所述测量误差及测量精度来确定所述多个焦点子范围，使得在所述多个焦点子范围的每一者中所述测量误差所跨越的误差范围小于或等于所述测量精度。
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