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龙图腾网获悉上海交通大学申请的专利差分MEMS谐振加速度计非线性失配的校准装置和校准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116165398B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310073262.X，技术领域涉及：G01P21/00；该发明授权差分MEMS谐振加速度计非线性失配的校准装置和校准方法是由张文慧;蔡思琦;赵健设计研发完成，并于2023-02-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本差分MEMS谐振加速度计非线性失配的校准装置和校准方法在说明书摘要公布了：一种差分MEMS谐振加速度计非线性失配的校准装置和校准方法，所述的装置包括差分MEMS谐振加速度计、校准控制电路和测试信号发生器，所述的差分MEMS谐振加速度计具有相同的结构第一通道、第二通道。本发明抑制了由于制造缺陷导致的差分MEMS谐振加速度计两路通道非线性刚度不匹配引入的闪变噪声，从而进一步提高了差分MEMS谐振加速度计的性能。本发明在抑制非线性刚度不匹配引入的闪变噪声时，不需要改变本发明差分MEMS谐振加速度计的机械架构，并且可以保持本发明差分MEMS谐振加速度计的高带宽和高信噪比的特性。

本发明授权差分MEMS谐振加速度计非线性失配的校准装置和校准方法在权利要求书中公布了：1.一种差分MEMS谐振加速度计非线性失配的校准装置，包括由具有相同的结构第一通道11、第二通道12构成的差分MEMS谐振加速度计1，其特征在于，还包括校准控制电路2和测试信号发生器3； 所述的第一通道11包括MEMS谐振器1101、前端放大器1102、模数转换器1103、数字频率检测器1104、幅度检测器1105、减法器1106、加法器1107、自动幅度控制电路1108、电压增益放大器1109和数模转换器1110，所述的MEMS谐振器1101的输出端经所述的前端放大器1102与所述的模数转换器1103的输入端相连，该模数转换器1103的输出端一分为三：分别与所述的数字频率检测器1104的输入端、所述的幅度检测器1105的输入端和所述的电压增益放大器1109的第1输入端11091相连，所述的幅度检测器1105的输出端与所述的减法器1106的负输入端11061相连，该减法器1106的输出端11063与所述的加法器1107的第1输入端11071相连，该加法器1107的输出端11073与所述的自动幅度控制电路1108的输入端相连，该自动幅度控制电路1108的输出端与所述的电压增益放大器1109的第2输入端11092相连，所述的电压增益放大器1109的输出端11093与所述的数模转换器1110的输入端相连，该数模转换器1110的输出端所述的MEMS谐振器1101的输入端相连； 所述的校准控制电路2包括第一测试信号响应检测器21、第二测试信号响应检测器22和一个最大功率点跟踪MPPT校准控制器23，所述的第一测试信号响应检测器21的输入端经第一接口4的第一个端口41与所述的第一通道11的数字频率检测器1104的输出端相连，所述的第一测试信号响应检测器21的输出端与所述的MPPT校准控制器23的第1输入端相连；所述的第二测试信号响应检测器22的输入端经第一接口4的第二个端口42与所述的第二通道12的数字频率检测器1204的输出端相连，所述的第二测试信号响应检测器22的输出端与所述的MPPT校准控制器23的第2输入端相连，所述的MPPT校准控制器23包括两个输出端：第一输出端经第二接口5的第一个端口51与所述的第一通道11的减法器1106的正输入端11062相连，第二输出端经第二接口5的第二个端口52与所述的第二通道12的减法器1206的正输入端12062相连； 所述的测试信号发生器3有两个输出端，第1输出端31经第三接口6的第一个端口61与所述的第一通道11的加法器1107的第2输入端11072相连，第2输出端32经第三接口6的第二个端口62与所述的第二通道12的加法器1207的第2输入端12072相连。

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