深圳综合粒子设施研究院徐中民获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳综合粒子设施研究院申请的专利反射镜模组、同步辐射装置及自由电子激光装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116315996B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310286776.3,技术领域涉及:H01S3/04;该发明授权反射镜模组、同步辐射装置及自由电子激光装置是由徐中民设计研发完成,并于2023-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本反射镜模组、同步辐射装置及自由电子激光装置在说明书摘要公布了:本申请公开了一种反射镜模组、同步辐射装置及自由电子激光装置,涉及同步辐射及自由电子激光技术领域。反射镜模组包括镜体,镜体具有上表面及与上表面相邻的侧面,上表面为光束的反射面,反射镜模组还包括第一凹槽、冷却模块和加热模块,第一凹槽设于侧面;冷却模块包括第一冷却结构和第二冷却结构,第一冷却结构设于上表面的下方,第二冷却结构设于第一冷却结构靠近侧面的一侧,冷却模块用于降低镜体的温度;加热模块用于镜体进行加热。本申请提供的反射镜模组可起到在光斑中心和反射面物理中心不一致情况下,反射镜面高度误差RMS值和斜率误差RMS值均满足预设要求的作用。
本发明授权反射镜模组、同步辐射装置及自由电子激光装置在权利要求书中公布了:1.一种反射镜模组,包括镜体,所述镜体具有上表面及与所述上表面相邻的侧面,所述上表面为光束的反射面,其特征在于, 所述反射镜模组还包括开设于所述镜体的第一凹槽,所述第一凹槽设于所述侧面,并沿所述镜体的长度方向贯穿所述镜体; 所述反射镜模组还包括冷却模块,所述冷却模块包括第一冷却结构和第二冷却结构,所述第一冷却结构设于所述上表面的下方,并沿所述镜体的长度方向设置,所述第一冷却结构外接供冷系统以降低所述镜体的温度;所述第二冷却结构设于所述第一冷却结构靠近所述侧面的一侧,所述第二冷却结构包括第一通道和导热片,所述导热片用于与所述镜体进行热量传导,所述第一通道外接供冷系统带走所述导热片上的热量以降低所述镜体的温度; 所述反射镜模组还包括加热模块,所述加热模块连接于所述导热片,所述加热模块对所述镜体进行加热。
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