江苏鲁汶仪器股份有限公司孙宏博获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利一种启辉检测方法及装置、离子束刻蚀设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116359631B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111564989.5，技术领域涉及：G01R31/00；该发明授权一种启辉检测方法及装置、离子束刻蚀设备是由孙宏博;刘小波;王想;窦阳;苏炜;王智超;胡冬冬;许开东设计研发完成，并于2021-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种启辉检测方法及装置、离子束刻蚀设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种启辉检测方法及装置、离子束刻蚀设备，可以利用探头获取对射频提供装置的电压进行检测得到检测信号，射频提供装置用于为石英桶提供射频信号，射频提供装置可以包括射频功率源和射频线圈，对射频提供装置进行检测的检测点位于射频功率源和射频线圈之间，若检测信号为正弦波，确定与射频提供装置连接的石英桶外不存在电离，若检测信号在正弦波的基础上还具有谐波或畸形波，则说明存在漏电，即可以确定与射频提供装置连接的石英桶外存在电离，这样可以通过检测信号实现对射频提供装置的电离情况进行检测，能够及时发现石英桶外的电离事件发生，也可以针对这种桶外电离做出及时的应对，因此可以更精准的控制刻蚀进程。
本发明授权一种启辉检测方法及装置、离子束刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种启辉检测装置，其特征在于，包括： 探头，用于对射频提供装置的电压进行检测得到检测信号，以便在所述检测信号的波形在正弦波的基础上还具有谐波或畸形波时，确定与所述射频提供装置连接的石英桶外存在电离；所述射频提供装置包括射频电源和射频线圈，对所述射频提供装置进行检测的检测点位于所述射频电源和所述射频线圈之间。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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