西北工业大学马志波获国家专利权
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龙图腾网获悉西北工业大学申请的专利一种光纤F-P腔传感器自准直系统及其自准直封装方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116610053B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310477146.4,技术领域涉及:G05B19/042;该发明授权一种光纤F-P腔传感器自准直系统及其自准直封装方法是由马志波;李若飞;王嘉言;喜奇;苑伟政设计研发完成,并于2023-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光纤F-P腔传感器自准直系统及其自准直封装方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种光纤F‑P腔传感器自准直系统及其自准直封装方法,属于MEMS传感器技术领域,所述光纤F‑P腔传感器自准直系统包括MCU和三个步进电机,三个所述步进电机分别用于控制准直器在X轴、Y轴和Z轴三个方向上的移动;MCU内嵌入设置有PID控制模块,PID控制模块与三个步进电机之间通过PWM控制。本发明中的光纤F‑P腔传感器自准直系统通过采集实时光强与理论光强做比较的思路,最值算法提供精准的理论光强,PID控制系统精准定位,精准位移防止稳态误差和超调量的出现,且在未满足最大光强条件时可以重复进行操作和对比,确保准直器对光对准的准确性和精准度,由此可以精确的实现MEMS传感器准直器自对准。
本发明授权一种光纤F-P腔传感器自准直系统及其自准直封装方法在权利要求书中公布了:1.一种光纤F-P腔传感器自准直系统的自准直封装方法,所述光纤F-P腔传感器自准直系统包括MCU和执行单元,所述执行单元包括三个步进电机,三个所述步进电机分别用于控制准直器在X轴、Y轴和Z轴三个方向上的移动;MCU内嵌入设置有PID控制模块,所述PID控制模块与三个所述步进电机之间通过PWM控制; 所述自准直系统还包括电源,所述MCU和三个所述步进电机均与所述电源连接; 所述MCU的外围电路包括复位电路、时钟电路和3.3v供电电路; 其特征在于,所述自准直封装方法包括以下步骤, S1:预先测定准直器准直后的光强值P,存入MCU中,并设置为PID控制模块的初始参数; S2:实时采集在PWM控制下的X轴遍历光强值,得到遍历后X轴的最大光强值C0,和对应的PID的控制参数,并由MCU送入PID控制模块; S3:由PID控制模块控制X轴对应的步进电机,使准直器由C0值回扫X轴得到最强光强处P1,完成X轴准光强最值点对准; S4:实时采集在PWM控制下的Y轴遍历光强值,得到遍历后Y轴的最大光强值C1,和对应的PID的控制参数,并由MCU送入PID控制模块; S5:由PID控制模块控制Y轴对应的步进电机,使准直器由C1值回扫Y轴得到最强光强处P2,完成Y轴准光强最值点对准; S6:判断P2与P之间的大小关系,若P2≥P,则由Z轴对应的步进电机驱动准直器与敏感芯片进行封装;若P2P,重复步骤S2-S5,更新位移阈值C和最大光强值C1,直至准直器移动到传感器封装支柱中心处即光强值最大处,自对准完成。
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