清华大学熊俊杰获国家专利权
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龙图腾网获悉清华大学申请的专利真空扫描探针显微镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116660581B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310434932.6，技术领域涉及：G01Q60/00；该发明授权真空扫描探针显微镜是由熊俊杰;谭新峰;郭丹;雒建斌设计研发完成，并于2023-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空扫描探针显微镜在说明书摘要公布了：本申请涉及一种真空扫描探针显微镜，包括镜体，所述镜体包括：探针、样品台、镜体顶板、底座、多个圆柱凹台、多个水平驱动装置，其中，所述样品台用于放置样品；所述探针设置在所述镜体顶板靠近所述样品台的一侧；所述多个圆柱凹台放置在所述镜体顶板与所述底座之间，以将所述探针和所述样品台分隔开，光学成像系统发出的光束透过所述镜体顶板垂直聚焦于所述探针和所述样品台；所述多个水平驱动装置设置于所述底座上，所述多个水平驱动装置呈圆周阵列分布，用于驱动所述样品台移动。采用本申请能够准确地寻找到样品的特定区域，提高探测效率。
本发明授权真空扫描探针显微镜在权利要求书中公布了：1.一种真空扫描探针显微镜，其特征在于，包括镜体，所述镜体包括：探针、样品台、镜体顶板、底座、多个圆柱凹台、多个水平驱动装置，其中， 所述样品台用于放置样品； 所述探针设置在所述镜体顶板靠近所述样品台的一侧； 所述多个圆柱凹台放置在所述镜体顶板与所述底座之间，以将所述探针和所述样品台分隔开，光学成像系统发出的光束透过所述镜体顶板垂直聚焦于所述探针和所述样品台； 所述多个水平驱动装置设置于所述底座上，所述多个水平驱动装置呈圆周阵列分布，用于驱动所述样品台移动。
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